無(wú)油真空泵又名無(wú)油干式真空泵，屬于干式真空泵，（又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機械泵）
    從上一次的全球峰會(huì )，到近日的國家兩會(huì )，走在提出：低碳、環(huán)保。節能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會(huì )排出一定的二氧化碳和廢氣。因此在真空行業(yè)中，葫蘆島水泵廠(chǎng)建議使用干式泵。
    工作原理
    葫蘆島水泵廠(chǎng)提醒：無(wú)油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時(shí)，轉子槽內四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開(kāi)來(lái)，周而復始運轉，進(jìn)行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
    無(wú)油真空泵常見(jiàn)應用領(lǐng)域：
    1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
    2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
    3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；
    4）在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
    5）葫蘆島水泵廠(chǎng)表示，用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵，可以防止油污染。